馳誠(chéng)CCZK-HT多弧離子鍍（工具鍍膜）是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種鍍膜技術(shù)，將各種氣體放電方式引入到氣相沉積領(lǐng)域，整個(gè)氣相沉積過(guò)程都是在等離子體中進(jìn)行的。
1、全SUS304不銹鋼機(jī)身，隱藏式雙層冷卻水套設(shè)計(jì)
2、合理配備多套研制的離子弧源，配備弧源過(guò)濾系統(tǒng)，有效保障弧源濺射的致密性與均勻性
3、爐體加溫和冷卻技術(shù)，使鍍膜溫度可達(dá)到550攝氏度的同時(shí)伴以?xún)?yōu)秀的爐體冷卻能力
4、裝載大功率脈沖偏壓電源，極大提高電粒子能量，從而獲得優(yōu)秀的膜層結(jié)合力和光潔度
5、采用馳誠(chéng)創(chuàng)新工藝制造，精益求精，通過(guò)歐盟CE和ISO質(zhì)量管理體系認(rèn)證；
CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備
腔體結(jié)構(gòu):立式前開(kāi)門(mén)，后置真空獲得系統(tǒng)
材質(zhì)用料:腔體采用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼材質(zhì)
離子弧源:依據(jù)設(shè)備大小不同配備多套弧電源系統(tǒng)
偏壓電源:配備大功率單級(jí)脈沖偏壓電源
多弧靶材:標(biāo)配多套鈦靶或不銹鋼靶材
轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):變頻調(diào)速，公自轉(zhuǎn)結(jié)合，可采用上傳動(dòng)或下傳動(dòng)方式
真空系統(tǒng):分子泵+羅茨泵+直聯(lián)泵（進(jìn)口）+維持泵+可選深冷泵
氣體控制:多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
加熱系統(tǒng):超硬質(zhì)工具鍍膜550℃溫控PID可調(diào)可控。
智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)邏輯全自動(dòng)控制
報(bào)警及保護(hù):異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。
報(bào)警及保護(hù):異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。
其他技術(shù)參數(shù)：
極限真空:5.0×10-4Pa
抽氣速率:5.0*10-2≤5min
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa
備注：
一般規(guī)格：
Φ1000mm*H1200mm，Φ900mm*H1000mm
真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶(hù)產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
切削刀具，鉆頭絲錐，精密軸承，銼刀鋸片，等其他需要進(jìn)行超硬質(zhì)膜層鍍膜的產(chǎn)品
